TGkine®-Rシリーズ

磁気軸受形ターボ分子ポンプ

TGkine®-Rシリーズの特徴
■コンパクト設計　■省電力設計　■高流量設計
■多彩な通信仕様（EtherCATも対応可能）
■自社開発により、安定した軸受を実現
■低速回転モード設定可能
■国際規格適合：CE / NRTL / SEMI-S2

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